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產(chǎn)品實(shí)拍 技能參數(shù) 應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用于 MO-CVD、大型 load-lock 等需要清潔真空的場景,在半導(dǎo)體制造、光伏、LED 等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用,如硅片生產(chǎn)、電池片制造、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)。
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應(yīng)用于 MO-CVD、大型 load-lock 等需要清潔真空的場景,在半導(dǎo)體制造、光伏、LED 等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用,如硅片生產(chǎn)、電池片制造、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)。