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產(chǎn)品實(shí)拍 技能參數(shù) 應(yīng)用領(lǐng)域


類型:氦質(zhì)譜檢漏儀(干式真空泵組合,渦輪分子泵 + 多級(jí)羅茨泵)
氦氣抽速:10 L/s
粗加工能力:35 m3/h
最小檢測(cè)漏率(真空模式):1×10?12 mbar·L/s
最小檢測(cè)漏率(吸槍模式):1×10?? mbar·L/s
極限壓力:≤ 55 dB(A)(噪音水平)
啟動(dòng)時(shí)間:< 2 min(無(wú)校準(zhǔn),20°C環(huán)境)
響應(yīng)時(shí)間:< 1 s
前級(jí)泵類型:多級(jí)羅茨真空泵
半導(dǎo)體、顯示器、航天、醫(yī)藥、電子元器件、真空管件等








13392746669
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廣東省東莞市翠香中路6號(hào)智順工業(yè)園1棟103室


