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東莞東歐真空設(shè)備有限公司
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LR90

愛(ài)發(fā)科LR90是日本ULVAC公司生產(chǎn)的多級(jí)羅茨干式真空泵，具有高抽速、低功耗、耐腐蝕性強(qiáng)等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏等高科技領(lǐng)域。

核心技術(shù)特點(diǎn)

  • 干式設(shè)計(jì)：泵腔內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑油，避免油污染，適用于潔凈度要求高的工藝。

  • 高抽速：50Hz時(shí)有效抽速為112m3/h（1860L/min），60Hz時(shí)為126m3/h（2100L/min）。

  • 低功耗：電機(jī)功率720W，功耗低，節(jié)能環(huán)保。

  • 耐腐蝕性：主要部件采用特殊表面處理，提高耐腐蝕性。

  • 無(wú)滑動(dòng)部件：減少磨損，延長(zhǎng)使用壽命。

  • 瞬停功能：1000毫秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)瞬時(shí)停止，提高生產(chǎn)效率


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