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PRC-012A

愛發(fā)科PRC-012A是一款專為高潔凈度要求應用設計的機械增壓泵，適用于半導體和液晶制造等工藝。以下是其主要特點：

  • 無油設計：泵腔內(nèi)無潤滑油，避免油污染，適用于水蒸氣、溶劑等蒸汽環(huán)境。

  • 高耐腐蝕性：關鍵部件采用陽極氧化處理，提高表面硬度和耐腐蝕性，減少內(nèi)部損傷。

  • 高效排氣：可與粗抽泵同步啟動，縮短排氣時間，提高抽氣效率。

  • 密封電機：采用屏蔽電機，無需機械密封，防止漏油，適用于清潔環(huán)境


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